EDX

うちの会社のSEMに，EDXという機能がついているのですよ．
同僚がこの機能を使って，何の元素があるとかないとか議論しているのですよ．

「えーと，EDXって何？」

ということで，以下は勉強したことメモ．

下リンクの図がわかりやすいかな．
http://www.dent.niigata-u.ac.jp/epma/edxwdx.html
新潟大学機器分析センター 第４部門（生体機能分析）　ＥＰＭＡ室
波長分散型（ＷＤＸ）とエネルギー分散型（ＥＤＸ）検出器の違い

EDXだけではなく，以下の２つをセットで考えるといい．
(1) EDX（Energy Dispersive XRF, エネルギー分散型蛍光X線装置）．
(2) WDX（Wavelength Dispersive XRF, 波長分散型蛍光X線装置）．

両方とも物質の表面に電子線を当てて（ここまではSEMと同じ），表面からでてくるX線を分析する．X線は物質固有のものがでるから，それを調べれば物質の情報がわかる．
(1) EDXはX線エネルギーを分析する．
(2) WDX はX線の波長を分析する．

物質に電子線を当てて分析を行うことを，EPMA (Electron Probe MicroAnalysis) という．EDX も WDXも EPMAの１種類．

簡単なイメージとしては，
(1) EDX．短時間．低コスト．シンプル．精度は相対的に低い．
(2) WDX．がっしり．重厚．高コスト．高精度．


（製品例）
島津製作所
http://www.shimadzu.co.jp/surface/products/edx/index.html
EDXは小型化できることがわかります．PCのディスプレイをふたまわり大きくしたくらい．

OXFORD INSTRUMENTS（日本語）
http://www.oxinst.co.jp/An/ma/IW.html
SEMにくっつけられるWDXもある．他にも種類があるようですが省略．